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等离子体化学气相沉积图谱-材料领域：

研究人员

王春林 马胜利 彭定坤 徐可为 白亦真 杨萍华 孟广耀 姜志刚

相关术语

热阴极 硬质膜 氢化非晶硅 非晶硅的高速沉积 辉光放电 金刚石膜 成膜理论 无机非金属材料

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