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多层复合结构 国家自然科学基金 显微硬度 各向异性 应变硅 浙江大学 变形 光纤材料 真空热压 缺陷 原子扩散 科技部 表面坑 图像传感器 断裂 基础研究 温差电动势率 光导 基础材料 Fe-Si化合物 材料表征 Bi2Te3 生物材料 半导体芯片 应用 制备 锗硅虚拟衬底 稀土永磁材料 直接影响 研究