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AlN薄膜图谱-材料领域：

研究人员

谢尚昇 林成鲁 朱自强 孙超 黄荣芳 董闯 符跃春 陈韬

相关术语

衬底 工艺参数 性能 物理气相沉积 脉冲激光沉积 微结构 KrF准分子脉冲激光沉积 阴极电弧离子镀

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