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灵敏度 气敏电导机制 无机非金属材料 反应磁控溅射 ZrO2掺杂份量 ITO 薄膜 丙酮 氧分压 薄膜硬度 非化学计量比 电学及气敏性能 气敏特性 非晶硅 面功率密度 激光烧结 努普压痕法 Slo－Gel工艺 石英管