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化学状态
AlN薄膜
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温度
热膨胀系数
所属机构
辽宁沈阳
中国科学院金属研究所
沈阳市11001
中国科学院金属研究所第七研究室
中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重...
大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验...
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