吕宪义 彭鸿雁 姜志刚 胡航 金哲 吴汉华 刘建设 曹庆忠 林景波 杨广亮 白亦真 李哲奎 盖同祥 郝世强 韩雪梅 顾广瑞 李柳暗 韩柏 罗玉杰 纪红 汪剑波 李俊杰 徐跃 李春燕 李明吉 郑涛 王林军 李红东 陈宝玲 赵立新

金刚石膜 键合结构 品质和膜厚均匀性 EA-CVD 金刚石厚膜 生长特性 内应力 刻蚀 微观应力 阴极荧光 氮杂质 硼掺杂 残余应力 热阴极 EA-CVD方法 PCVD 半导体掺杂 载流子浓度 红外透过率 退火 无机非金属材料 XRD 透明自支撑金刚石膜 耐磨性 类金刚石膜 膜品质 热稳定性 晶界 金刚石薄膜 腐蚀

吉林长春 河南长葛 河南黄河实业有限公司 吉林大学超硬材料国家重点实验室 延边大学理工学院 吉林大学测试科学实验中心 吉林大学原子与分子物理研究所 哈尔滨理工大学电气与电子工程学院