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邓新绿图谱-材料领域:
相关人员
杨梅
李新
徐军
唐祯安
张虹霞
研究领域
类金刚石膜
非平衡磁控溅射
电子回旋共振
等离子体源
所属机构
辽宁大连
大连理工大学电子工程系微系统研究中心
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
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