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贾护军图谱-材料领域:
相关人员
杨银堂
朱作云
李跃进
柴常春
研究领域
多晶碳化硅
热氧化
淀积温度
二氧化硅
温度
刻蚀气体
β-SiC薄膜
等离子体刻蚀(PE)
所属机构
西安电子科技大学微电子所
西安电子科技大学微电子研究所
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