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贾护军图谱-材料领域：

相关人员

杨银堂 朱作云 李跃进 柴常春

研究领域

多晶碳化硅 热氧化 淀积温度 二氧化硅 温度 刻蚀气体 β－SiC薄膜 等离子体刻蚀（PE）

所属机构

西安电子科技大学微电子所 西安电子科技大学微电子研究所

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