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檀柏梅图谱-材料领域：

相关人员

张建新 刘玉岭 张楷亮

研究领域

硅溶胶 化学机械抛光 粒径 超大规模集成电路 可控增长

所属机构

河北工业大学微电子研究所 天津理工大学电子信息与通信工程学院

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