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易万兵图谱-材料领域：

相关人员

邹世昌 吴瑾 张文杰

研究领域

MOCVD TiN 等离子体处理 金属材料 薄膜电阻

所属机构

中国科学院研究生院北京 上海宏力半导体制造有限公司 上海宏力半导体制造有限公司上海 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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