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类金刚石薄膜 超硬复合薄膜 双光子吸收 鞘层 定量表征 脉冲偏压 对称化合物 电弧离子镀等离子体负载

东南大学化学化工学院 东南大学先进光子学中心 大连理工大学电气工程系 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室