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杨银堂图谱-材料领域：

相关人员

贾护军 朱作云 李跃进 柴常春 吴振宇 汪家友

研究领域

热氧化 退火 多晶碳化硅 刻蚀气体 a-C∶F SiC薄膜 结晶度 淀积温度

所属机构

陕西西安 西安电子科技大学微电子所 西安电子科技大学微电子研究所 西安电子科技大学微电子研究所宽禁带半导体...

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