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薄膜 表面微结构 亲水性 低温等离子体 无机粉体 氟化物 固定生物分子 表面形貌 固化方式 基片温度 玻璃离子粘固剂 表面改性 表面性能 磁控溅射 原子力显微镜 生物材料 TiO2薄膜 生物芯片 羟基磷灰石 片基

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