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李跃进图谱-材料领域:
相关人员
贾护军
柴常春
杨银堂
朱作云
研究领域
热氧化
二氧化硅
刻蚀气体
β-SiC薄膜
外延生长
SiC薄膜
温度
结晶度
所属机构
西安电子科技大学微电子所
西安电子科技大学微电子研究所
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