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柳锡运图谱-材料领域：

相关人员

沈辉 郭志球 刘正义

研究领域

多晶硅 酸性腐蚀 各向同性腐蚀

所属机构

广东广州 华南理工大学机械工程学院 中山大学物理科学与工程技术学院

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