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柴春林图谱-材料领域：

相关人员

杨少延 陈诺夫 刘志凯 周剑平 林兰英 张志成

研究领域

高-k材料 IBD CVD 蒸发法

所属机构

中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验...

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