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张苗图谱-材料领域：

相关人员

沈勤我 王连卫 陈静 朱剑豪 林成鲁 多新中 于伟东 王曦

研究领域

SIMOX 超高真空电子束蒸发 SOI材料 外延 PBII SmartCut 多孔硅 单晶硅

所属机构

中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实...

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