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光催化降解 Ⅰ-Ⅴ特性 可见光吸收 ZAO薄膜 磁控溅射 TiAl合金 甲基橙 中频交流反应磁控溅射 无机非金属材料 N掺杂 工艺参数 TiO2薄膜 中频交流磁控溅射 透过率 机制 氧化行为 工作气压 金属-绝缘体-金属 氧化钽薄膜 Mo合金元素添加 Sb 电阻率 亚甲基蓝

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