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张宇峰图谱-材料领域：

相关人员

任兆杏 张溪文 韩高荣

研究领域

感应耦合等离子体 薄膜 离子束辅助沉积

所属机构

中国科学院等离子体物理研究所 浙江大学硅材料国家重点实验室

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