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张俊计图谱-材料领域：

相关人员

金承钰 黄智勇 刘学建 黄莉萍

研究领域

LPCVD 沉积速率 氮化硅薄膜 表面形貌

所属机构

上海交通大学 中国科学院上海硅酸盐研究所

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