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廖源图谱-材料领域：

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研究领域

金刚石薄膜 金刚石生长 SiCN薄膜 原位光发射谱 非晶碳层 HFCVD 金刚石膜 光发射谱

所属机构

中国科技大学物理系 中国科学技术大学物理系 中国科学技术大学工程科学学院 中国科学技术大学结构分析开放实验室 中国科技大学结构分析开放研究实验室 中国科学技术大学结构分析开放研究实验室

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