袁俊 杨德仁 王勇 王晓泉 汪新颜 金达莱 马向阳 谢荣国 沃银花 李勇 阙端麟 钟尧 朱鑫 杜平凡

Si 化学腐蚀 沉积速率 钝化 直拉单晶硅 多晶硅 减反射膜 氮化硅薄膜 空间太阳电池 掺杂 氧沉淀 钢衬底 多孔硅 PECVD RF-PECVD 氮 SiN 织构 太阳电池

浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江杭州 中国空间技术研究院北京控制工程研究所 浙江理工大学材料工程中心 浙江大学半导体所 浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部...