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应用 非晶硅薄膜 纳米粉体 椭偏谱 有效介质近似 多层膜模型 金属诱导晶化 多晶硅薄膜器件 NH3 溶胶-凝胶法 多晶硅薄膜 N2O 准分子激光诱导晶化 表面钝化 低温 p-Si TFT β-SiC 结晶膜 氢化非晶硅

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