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研究领域
化学气相沉积
过渡金属
金刚石
腐蚀
刻蚀
类金刚石膜
场发射
氢等离子体处理
金刚石膜
氧等离子体
直流热阴极
结构特性
所属机构
河南长葛
吉林长春
河南黄河实业有限公司
吉林大学超硬材料国家重点实验室
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