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合成参数 粉体特性 金刚石薄膜 超细粉 激光驱动 Si3N4 CVD 氢气含量 激光制粉 超细Si3N4 压力

北京科技大学材料科学与工程学院 中国科学院金属研究所 黑龙江省科学院技术物理所 哈尔滨工业大学应用物理系