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姚奎鸿图谱-材料领域：

相关人员

王耐艳 祝洪良 王勇 沃银花

研究领域

硅烷 流态床 氮化硅（SiN） 化学气相沉积（CVD）

所属机构

浙江大学 浙江理工大学

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