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罗仲梓图谱-材料领域：

相关人员

于映 陈光红 吴清鑫

研究领域

聚酰亚胺 PECVD 氮化硅 射频MEMS开关 残余应力

所属机构

福建福州 江苏苏州 福建厦门 福州大学物理与电信工程学院 厦门大学萨本栋微机电研究中心 苏州市职业大学电子信息工程系

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