辛煜 项苏留 沈明荣 甘肇强 叶超 方亮 康健 宁兆元 黄峰 葛水兵 杨慎东 陆新华

掺杂比 脉冲激光沉积 脉冲电化学腐蚀 aC∶F薄膜 αC∶F薄膜 微波功率 ZnO膜 低HF浓度 氧分压强 键结构 微波ECR-CVD 光学带隙 MWECR-CVD aC:F膜 多孔硅 ECRCVD a-C∶F薄膜 氧分压 I-V特性 电子极化

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