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王季陶图谱-材料领域：

相关人员

何贤昶 张庆全 王鹏飞 夏钟福 丁士进 刘志杰 卢红亮 张剑云

研究领域

热力学 低介电常数 原子层淀积（ALD） 化学气相淀积 相图 薄膜 金刚石 含氟氧化硅

所属机构

复旦大学 同济大学 复旦大学电子工程系 上海复旦大学电子工程系 上海交通大学微电子研究所 复旦大学电子工程系CVD研究室 复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点...

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