尚乃贵 廖源 李灿华 陈则韶 常超 马玉蓉 方容川 戚学贵

金刚石生长 横向偏压 金刚石膜 非晶碳层 含氮基团 原位光发射谱 金刚石薄膜 热丝CVD 薄膜生长 气相化学 热丝化学气相沉积 相图 温度场 金刚石 光发射谱 化学气相沉积

中国科学技术大学物理系 中国科学技术大学结构分析开放实验室 中国科学技术大学 中国科技大学物理系 中国科技大学结构分析开放研究实验室 中国科学技术大学工程科学学院