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刘志杰图谱-材料领域：

相关人员

张卫 万永中 谢平 张剑云 丁士进 刘坤 王季陶 王鹏飞

研究领域

化学气相淀积 轨迹跟踪 动态特性补偿 含氟氧化硅 薄膜 低介电常数 原子力显微镜 气相生长

所属机构

复旦大学 复旦大学电子工程系 复旦大学电子工程系CVD研究室

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