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疏水处理 制备方法 应用 低介电常数介质薄膜 正电子（素）湮没寿命谱 纳米多孔 SiO2薄膜 相变材料 层-层自组装 Sio2气凝胶薄膜 （PSSPANI）n复合膜 SiCSi3N4 煅烧 结构 模板剂 复合材料 静电 原位聚合 纳米微粉 小角中子散射 热控 萃取 有序介孔材料 纳米多孔薄膜 性能 椭偏测孔仪 低介电常数 Si-C-N纳米微粉 SiCN 显微结构 接触角

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