金曾孙 李春燕 彭鸿雁 孙宝茹 曹庆忠 汪剑波 郝世强 刘建设 李博 杨广亮 李红东 徐跃 白亦真 张彤 李柳暗 于三 姜志刚 邹广田 韩柏 李明吉

XRD 腐蚀 品质和膜厚均匀性 EA-CVD方法 PCVD 结构特性 CVD金刚石膜 载流子浓度 氮杂质 热解CVD方法 刻蚀 半导体掺杂 氧等离子体 过渡金属 金刚石薄膜 金刚石膜 热阴极 微波PCVD 阴极荧光 无机非金属材料 EA-CVD 微观应力 透明自支撑金刚石膜 红外透过率 残余应力 硼掺杂 膜品质 金刚石厚膜

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