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对向靶溅射 固相晶化 阵列纳米ZnO 多晶硅 γ′-（Fe1-xNix）4N 多晶硅薄膜 光敏性 晶粒尺寸 机械球磨 沉积速率 晶格缺陷 固态反应 材料制备 ITO／TiSi2电极 稳定性 机械合金 球磨 晶化温度 衬底温度 碳纳米管 聚合物复合材料 过冷度 光致发光 光电特性 太阳电池 化学共沉淀法 机制 功能化 亚稳态结构 掺杂比

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