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吴瑾图谱-材料领域：

相关人员

张文杰 易万兵 邹世昌

研究领域

等离子体处理 薄膜电阻 MOCVD 金属材料 TiN

所属机构

中国科学院研究生院北京 上海宏力半导体制造有限公司 上海宏力半导体制造有限公司上海 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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