乔学亮 谢长生 朱文玄 许德胜 孙培祯 胡一帆 潘小霞 邹柳娟 范瑛 陈建国 翁惠民 赵建生 姜涛 程宇航

制备方法 等离子增强化学气相沉积 灵敏度 马氏体相变 气体传感器 热模具钢 循环加热冷却 湮灭 类金刚石薄膜 正交设计 气敏元件 复合材料 缺陷 TiO2 类金刚石碳膜 选择性 金刚石 慢正电子束 a-C：H（N）薄膜 CN膜 沉积技术 性能特点 沉积工艺 微波烧结 a-C:H（N）薄膜 薄膜 掺杂 CuTi 直流电阻率 类金刚石

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