张虹霞 李新 徐军 杨梅 邓新绿

等离子体辅助化学气相沉积 微电子机械系统 等离子体源 电子回旋共振 非平衡磁控溅射 等离子体源离子注入 无机非金属材料 类金刚石膜

辽宁大连 教授大连市 大连理工大学 沈阳工业大学 大连理工大学电子系 大连理工大学电子工程系微系统研究中心 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室