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光学表面成形 光学镜面加工 回转对称非球面 去除函数 补偿 高斯概率分布函数 气囊抛光 计算机控制 加工可达性 路径规划 数控抛光 隐半马尔可夫模型 故障识别 非球面 离子束加工 小波能谱熵