王智 朱明武 王树洁 孟繁宏 崔继文 崔秀华 张海青 张立平 卢新然 王建林 赵长海 康文静 敖磊 沈忙作 钱惠芬 谭久彬 万秋华

平面反射镜 光学检测 变结构元多尺度形态滤波 长导轨 主轴承孔 亚像素定位 大孔径 动态检测 凸轮导轨机构 调焦机构 新方法 精度分析 编码器 直线度 第一测点位置 数据处理 中心线偏差值 累积值 导轨的直线度 临时坐标 Zernike矩 二维小角度测量 垂直度测量 同轴度 线阵CCD 码盘 测量不确定度 CCD靶面