宗文俊 陈时锦 孟剑奇 董国军 程凯 张龙江 张昊 李国 李旦 张建国 董申 韩成顺 周磊 孙涛 王洪祥

表面形貌 刀具振动频谱 几何模型 正弦波表面 振动辨识 非球面度 压电陶瓷补偿器 红外成像 切削参数 单点 快速伺服机构 超精密加工 金属反射镜 切屑形成 切削力 衍射光学 进给率 非轴对称表面 脆性材料 非球面镜 微透镜阵列 无热化系统 表面粗糙度 单晶硅 热膨胀系数 非轴对称光学表面 二维快速傅里叶变换 面域功率谱密度 导温系数