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被测对象 霍尔传感器 状态监测 SOI MEMS 检测仪 多功能传感器 MEMS传感器 测试方法 高灵敏度 智能传感器 网络传感器 起重机 发展动向 液压系统 时钟日历芯片 采样时间 IC卡 测量范围 触发器式传感器 故障诊断 霍尔效应 固态硅传感器 触发器 非稳态