朱晓东 严少平 张晓化 何家文 杭凌侠 蒋百灵 林松盛 郑彬娜 唐长斌 林凯生 高广睿 万志华 白力静 张永宏 代明江 梁戈 YANGShi-cai 李玉庆 徐万劲 谭立 苏阳 付永辉 曾群锋 李洪武 郝宏 唐宾 薛德胜 刘道新 温庆平 徐均琪

结构和性能 高温 MoS2薄膜 复合薄膜 MoS2-Ti复合薄膜 显微结构 沉积压力 工件台转速 基体偏压 闭合场非平衡磁控溅射 沉积速率 自溅射 形貌 微动疲劳 钛合金 高硬度类石墨膜 沉积温度 结构和性能 GLC-Cr复合镀层 偏压 掺金属类金刚石膜 摩擦学性能 结构 摩擦磨损性能 摩擦特性 掺杂Ti 工件台偏压 类金刚石膜 溅射率 TiN镀层

结构和性能