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静电封接图谱-机械领域：

研究人员

刘沁 匡石 林洪 祝永峰 李颖 张治国 孙海伟 刘剑

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绝对压力传感器 传感器 灵敏度温度系数 硅电容 零点 固态 小间隙 极化区

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