王立平 刘波 张明亮 徐登峰 张艳 贝季瑶 潘立 朱立伟 赵冶 林海波 黄永宣 忻晓蔚 尹自强 张尚盈 尹文生 李伟 张云洲 黄欢 于亚琳 周云飞 于宝成 郁鼎文 黄金永 王建敏 魏燕定 罗松保 王建华 田军委 朱建忠 孙维盛

测量装置 非球面透镜 动力学问题 微驱动 硅片台 测量 轮廓精度 无心磨削 关键部件 数控 直接数字控制 插补 动力学分析 扭轮摩擦传动 重构 直线运动误差 伺服控制 直线度 主体结构 传动轴 双面抛光 测量仪 力解耦 驱动系统 激光干涉仪 解耦 平面磨床 延性方式 尺寸精度 基准