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表面表征 X射线衍射法 电容耦合 测量系统 超声振动 残余应力 表面功能 传递函数 单晶硅 光洁度测量 加工工艺 激光辅助清洗 液流悬浮 定偏心浸液式抛光 激光陀螺 微分散射 表面特征 线性系统 等离子体炬 抛光 加工技术 计算机控制 机理 散射光强度 非球面镜 试验研究 纳米表面 污染微粒 粗糙度 Hilbert-Huang变换（HHT）