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湿法腐蚀图谱-机械领域：

研究人员

郭虎岗 汪炜 刘正埙 褚德南 汤文成 王立鼎 张丽宏 幸研

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热键合 表面形态 硅 脉冲超声波 单晶硅 反应激波刻蚀 微流控芯片 凸角补偿

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