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应用及发展 静压气体轴承 工作刚度 小孔节流 多孔质 设计 径向回转误差 电主轴 仿真 哈尔滨工业大学 超高速电主轴 狭缝节流 轴系的回转精度 主动磁轴承 辅助设计 气体润滑轴承 误差均化作用 轴承技术 有限单元法 相容条件 多支承 VB 微细孔钻削 气体润滑 超精密加工 Marc 雷诺方程