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CVD 二氧化钛薄膜 光学带隙 结晶 化学组成 去极化作用 多晶金刚石薄膜 化学火焰 氮化硅薄膜 基底温度 浓差极化 非平衡磁控溅射 电镀 偏压 形貌 蓝宝石 紫外-可见光谱 电流密度 超声波 磁控反应溅射 磁控溅射 碳薄膜 氮化碳 沉积过程