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发生线 反馈线性化 测量 齿轮测量 渐开线齿形 数控编程 砂轮偏重 曲率中心 齿形误差 轮廓控制 精度 曲率半径 渐开线 半径补偿 自动调整 切线坐标 端面渐开线齿形误差 精度分析 直线电机 XY平台 切点 平衡装置