侯利程 金翠云 胡春光 靳世久 郝一龙 傅星 冯亚林 陈晓阳 胡小唐 沈雪瑾 郭彤 李普 王旭 胡晓东 黄善敏 栗大超

微机电系统MEMS) 动态测试 多重网格方法 频闪干涉仪 谐振频率 静电阻力 挤压膜阻尼 动态表征 虚拟仪器 机器微视觉 MEMS ANSYS 表面粗糙度 模糊图像